1972年世界上砂輪劃片機(jī)睡著超薄金剛石刀片的研制成功在日本Disco公司問(wèn)世,該公司隨后相繼開(kāi)發(fā)出300、500系列6英寸半自動(dòng)劃片機(jī),600系列8英寸、12英寸全自動(dòng)劃片機(jī),全自動(dòng)劃片機(jī)一般由主機(jī)部分、自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)、自動(dòng)上下片、自動(dòng)清洗四個(gè)主要單元系統(tǒng)組成。砂輪劃片機(jī)經(jīng)歷了從半自動(dòng)到全自動(dòng),從劃切2英寸晶片到目前劃切12英寸片,Disco公司推出的雙軸對(duì)裝式12英寸全自動(dòng)劃片機(jī),代表當(dāng)今劃片機(jī)最高技術(shù)水平。
目前國(guó)外研究生產(chǎn)劃片機(jī)的主要廠家有:日本的Disco公司和東京精密公司、美國(guó)的K&S公司、英國(guó)的Loadpoint公司、以色列的ADT公司等。每個(gè)廠家都有自己的特點(diǎn)和研究發(fā)展方向。
國(guó)內(nèi)砂輪劃片機(jī)從1981年開(kāi)始研制,在九十年代中期形成小批量生產(chǎn),中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所開(kāi)發(fā)的6英寸劃片機(jī),性能指標(biāo)達(dá)到了國(guó)外同類型設(shè)備水平,取得了實(shí)用化,可以與國(guó)外同類產(chǎn)品并線使用。
在劃切材料方面,硅和陶瓷材料占有很大的比重。硅材料是大規(guī)模集成電路的基石,按其晶體結(jié)構(gòu)分為:?jiǎn)尉Ч、多晶硅和非晶硅。用在集成電路是單晶硅,用量占整個(gè)集成電路的95%以上。
陶瓷材料中的功能陶瓷是指以電、磁、光、聲、熱、力、化學(xué)和生物等信息的檢測(cè)、轉(zhuǎn)換、耦合、傳輸及存儲(chǔ)等功能為主要特征,在信息的檢測(cè)、轉(zhuǎn)化、處理和存儲(chǔ)顯示中應(yīng)用廣泛,是信息技術(shù)中基礎(chǔ)元器件的關(guān)鍵材料,對(duì)發(fā)展電子信息產(chǎn)業(yè)等許多高科技產(chǎn)業(yè)具有重要的戰(zhàn)略意義。世界各國(guó)元器件生產(chǎn)企業(yè)都在電子陶瓷及其元器件的新產(chǎn)品、新技術(shù)、新工藝、新材料、新設(shè)備方面投入巨資進(jìn)行研究開(kāi)發(fā)。